光刻机第一股上游供应商和关联股东一览

我国的光刻机虽然不断在发展，但是与国际三巨头尼康、佳能、ASML比差距很大。ASML近乎垄断了全球光刻机的中高端市场，同比ASML，尼康、佳能中高端光刻机市场已基本没落。

目前全球有且只有一家企业能够生产5nm及以上的光刻机，那就是荷兰的ASML，ASML掌握了极紫外光源技术，可以生产7nm及5nm的芯片。荷兰ASML排名第一，是唯一一家可以生产EUV光刻机的厂家，排名独一档，第二档次是日本的佳能还有尼康，虽然也可以独立生产光刻机，但是面对的市场仅是中低端芯片市场。第三档次的就是国内的上海微电子装备(集团)股份有限公司，虽然也能够生产出来光刻机，目前已经交付首台国产28nm光刻机。

在光刻机中，有很多个核心部件，包括光源、镜头、超精密工件台等，其中超精密工件台是光刻机产品平台的核心子系统，承载晶圆在光刻过程中实现高速超精密的步进扫描运动，成本占到整个光刻机的10%-20%。工件台要求在高速运动下达到2nm(相当于头发丝直径的四万分之一)的运动精度。由此奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的最尖端地位，被称为超精密技术皇冠上的明珠。

国内就有一家公司，能够生产光刻机工作台，也顺利打入上海微电子的供应链中，那就是拟在科创板上市的华卓精科。上海微电子是中国唯一一家生产高端前道光刻机整机的公司，华卓精科是其唯一的光刻机工件台供应商。作为全球第二家掌握双工件台核心技术的公司，华卓精科打破了ASML的垄断，研制出了2种系列产品，一种面向干式光刻机，另一种面向浸没式光刻机，其中浸没式光刻机工作台6000万/台。

那么这家有能卖6000万/台产品的公司，又是什么来头呢?2001年，公司创始人朱煜参与“十五计划”的“863”芯片装备重大专项的规划工作，就在这一年，ASML推出的首台双工作台引起了朱煜的注意，于是朱煜带着他的团队开始了工作台的研发工作，并于2004年研制出10纳米同步精度的超精密运动平台。但在2004年到2008年，朱煜团队几乎没有获得任何的研究费用，研究陷入停顿。直到2009年，“02专项”开始实施，朱煜以及团队才重新获得研究经费。2012年，华卓精科由清华大学以及朱煜等8人共同出资组成。

根据招股说明书介绍，华卓精科以光刻机双工件台为核心，并以该产品的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品，以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品，打入了包含上海微电子、北京东方嘉宏、上海集成电路研发中心、中国科学院上海光学精密机械研究所等公司、机构的产业链中。

现阶段，华卓精科已经递交了科创板上市材料，如果成功上市，华卓精科将成为真正的登录A股的光刻机第一股。正所谓，“机会都是留给有准备的人”，在华卓精科尚未上市前，理清其上游产业链以及参股股东，参照中芯国际的炒作线路，可能这些标的有机会迎来关注。

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